PECVD系統(tǒng)配置：1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐2.等離子射頻電源3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)4.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）

產(chǎn)品用途：

產(chǎn)品性：

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品組成：

PECVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）  

產(chǎn)品特點(diǎn)：

生長溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡單。

天津中環(huán)電爐股份有限公司立于1993年，2015年公司進(jìn)行股份制改造，更名為天津中環(huán)電爐股份有限公司。公司集研發(fā)、制造、營銷能力于一身，為眾多科研院所、大學(xué)提供實(shí)驗室電爐系統(tǒng)及服務(wù)并深受用戶肯定；以北大、清華、中科院各院所等為代表的客戶群體已經(jīng)超過一千家，并為客戶完成科研項目做出了自己的貢獻(xiàn)。截至到目前，公司已經(jīng)成功研發(fā)出深受用戶肯定的21個系列260多個品種的產(chǎn)品，同時公司的研發(fā)團(tuán)隊已具備為客戶量身打造特殊需求的實(shí)驗室電爐系統(tǒng)的能力。二十多年以來，公司的品牌在客戶的口碑中得以不斷的成長，同時在政府的扶植下取得了可喜的榮譽(yù)。